산화성 가스  배관 등에 투입 전 확실히 청소해야
부식성 가스  대기로 방출 땐 용기·밸브도 녹슬어

특수가스에 대하여 잘 정리된 문서를 작성하고자 고민하던 끝에 아래와 같은 정리문서를 만들게 됐다. 하나의 문서로 모든 세세한 사항까지는 아니더라도 누구라도 총체적으로 언급할 수 있도록 정리해 봤다. 특수가스, 반도체, LCD, LED 등의 업계에서 유용하게 사용하기를 기대한다.

 

반도체용 특수가스(Electronic Specialty Gas)

반도체용 특수가스란 반도체산업에서 사용되는 순수가스 및 혼합물을 의미한다. 이 산업은 높은 고순도의 요구되기 때문에 밸브가 부착된 실린더는 사용되는 모든 기간 동안에는 가스의 누출을 최소화하기 위한 모든 조치를 강구하여야 한다. 그러나 이러한 가스들은 대부분 높은 압력으로 저장이 되고 각종 위험성(예, 가연성, 독성, 부식성 등)을 포함하고 있으므로 비록 사용되는 가스가 불활성 일지라도 상당한 주의가 요구된다.

더욱이 2001년 미국의 911 이후로는 이들 특수가스들이 대량학살 무기로 간주되고 있다. 이번에 언급하고자 하는 것은 이 물질들을 취급하는 장소에서의 안전 수준을 높이고자 하는데 도움이 되고자 한다.

 

범위와 목적(Scope and Purpose)

여기서 다루고자 하는 것은 용기에 저장된 반도체용 특수가스의 사용, 취급 및 저장에 대하여 안전한 방법이다. 즉, 용기만이 아니라 가스가 가지고 있는 잠재적인 위험성에 대하여 정보를 주고자 한다.

반도체, TFT-LCD, 섬유광학, 광전자기기 등의 전자산업에 주로 사용되는 가스를 취급하는 작업자의 안전에 주의와 지침에 대한 내용으로 작성되어 있다. 여기에서 가스라 함은 순수한 가스와 혼합가스 모두를 포함하고 있다.

 

특수가스의 위험성(Hazards of Electronic Specialty Gases)

특수가스는 해당 가스가 가지고 있는 고유한 위험성뿐만 아니라 화학적 생물학적 반응에 따른 위험성을 가지고 있으며, 한 가지 이상의 위험성을 함께 가지고 있는 경우가 많다. 가스의 공급자가 제공하는 물질보건안전자료(MSDS)는 해당 가스가 소유하고 있는 위험성과 안전한 취급 방법을 잘 제공하고 있다.  

 

○물리적 위험(Physical Hazards)

- 가스 압력
압축가스는 주변 대기압보다 훨씬 높기 때문에 이러한 압력에너지로 인한 위험성을 내포하고 있다. 사람의 실수 또는 기기의 파손 등으로 인한 압력의 방출은 심각한 인명의 손상 또는 피해를 발생시킬 수 있다. 주변의 화재 또는 비정상적인 압력의 상승은 용기의 파손을 발생시킬 수 있고, 과충전 용기 또한 같은 위험성을 내포하고 있다.

- 초저온
액체로 저장된 초저온 액체는 아래와 같은 여러 가지 위험성을 가지고 있다.
△ 동상
△ 금속 파괴
△ 연무 발생
△ 열 수축 또는 팽창
△ 결빙

 

○화학적 위험(Chemical Hazards)

- 가연성 (Flammability)
가연성 가스는 조연성 물질과 점화원이 함께필요하다. 가연성 가스가 연소하기 위해서는 연소범위 즉, 연소하한계(LFL, Lower Flammable Limit)과 연소상한계(UFL, Upper Flammable Limit) 범위 내에서 존재하여야 하며, 이 범위를 벗어난 가연성 가스는 연소하지 않는다.

암모니아와 같은 몇몇 가스는 특정 조건에서만 연소를 함으로써 가연성으로 취급되지 않으며, 또 다른 가스는 제한된 옥내에서 누출이 일어나고 점화원이 존재하는 경우에 폭발을 일으킬 수 있다. 내부의 높은 압력은 용기를 파열시킬 수 있으므로 주의가 필요하다. 적절히 혼합된 가연성 가스는 대부분 급격한 연쇄반응을 시작하기 위하여 점화원이 필요하며, 또 어떤 가스는 대기온도(약 54.4℃) 이하의 자연발화 온도를 가지고 있는 것이 있으며 이러한 물질을 자연발화성 가스라 한다.

- 산화성 가스(Oxidizing Gases)
O2, F2, NF3, N2O, N2O2와 같은 산화성 또는 조연성 가스는 연소를 증진시키는 역할을 하며 직접 연소하지는 않는다. 이러한 가스의 반응성은 압력과 온도 산화성의 정도에 따라 다르다.

일반적인 대기조건 상태에서는 상당히 안정한 물질인 그리스, 스테인리스 스틸 등도 높은 압력과 온도에서는 산화성 가스의 존재 하에서 격렬하게 연소될 수 있다. 즉, 산화성 가스를 취급하는 배관 또는 기기들은 이러한 가스를 투입하기 전에 내부에 어떠한 물질도 남지 않도록 청소를 확실히 수행하여야 한다.

불소는 가장 강력한 산화제로서 이 물질을 취급하는 기기 또는 배관은 반드시 사용 전에 보호막입힘(Passivation)을 수행하여야 한다. 강력한 산화제인 플로린(F2) 또는 질소트리플루오르화물(NF3) 등은 금속을 대기온도에서도 연소시킬 수 있다. 미립자 형태의 알루미늄, 카본스틸, 스테인리스스틸 산화성 가스의 존재 하에서 즉각적으로 연소될 수 있다.<표1>

- 부식성 가스(Corrosive Gases)
일반적으로 부식성 가스들은 수분과 접촉하는 경우 금속을 파괴하거나 인체조직에 피해를 입힌다. 수분이 없는 건조한 환경에서는 부식성 가스들의 영향은 미미하나, 이러한 가스가 대기 중으로 방출되어 수분과 결합을 하는 경우 용기 또는 밸브, 기기에 부식을 발생시킨다. 그러므로 부식성 가스는 수분과의 접촉을 최소화 하는 노력이 필요하다.

- 자기반응 가스(Self-reacting Gases)
자기반응 가스들이라 함은 어떠한 조건하에서 외부의 도움 없이 스스로 분해(Decomposition)되거나 중합(Polymerization)하는 의미한다. 이러한 물질은 용기를 파괴할 수 있을 만큼 내부 압력을 올려 사고의 위험성을 높인다. 분해하는 물질로는 질산화물(Nitric Oxide), 게르만(Germane), 디보란(Diboran) 등이 있으며, 중합하는 물질로는 에틸렌 옥사이드(Ethylene Oxide) 등이 있다. 이러한 이유로 자기 중합을 하는 물질에는 반응 억제제를 투입한다.

 

○생물학적 위험(Biological Hazards)

- 독성 및 발암성(Toxic and Carcinogens)
대부분의 독성가스는 호흡을 통하여 폐로 인체로 들어간다. 또 다른 경로가 많지는 않지만 피부를 통하여 인체에 들어갈 수도 있다. 비소(Arsine), 일산화탄소(Carbon Monoxide)와 같은 급성 독성물질은 사람은 단시간에 죽음에 이르게 할 수 있다.

만성 독성물질들 예를 들어 비소(Arsin)는 독소의 체내축적으로 건강을 악화시키고, 질산화물(Nitric Oxide)은 폐를 통하여 인체조직을 파괴하며, 불화수소(Hydrogen Fluoride)는 만성통증을 유발시킨다. 또 다른 가스인 에틸렌 옥사이드(Ethylene Oxide)는 암을 발생시킬 수 있다. 단기간에 죽음에 이르게 하지는 않지만 시간이 경과함에 따라 인간 세포의 유전체계에 변형을 일으켜 돌연변이를 발생시키는 원인이 된다.

- 질식 (Asphyxia)
질식이란 산소의 결핍을 의미한다. 산소 또는 공기를 제외한 어떠한 가스이든 밀폐공간에 누출되면 이러한 현상을 일으킨다. 즉, 단순히 불활성 가스인 질소, 헬륨, 아르곤 등에만 해당되는 것이 아니다. 산소의 농도가 19.5% 이하인 장소는 질식의 위험이 있다고 간주된다.

공기보다 무거운 가스는 바닥으로 가라앉는 경향이 있어 맨홀, 피트, 우물 등에 고여 있을 수 있으므로 각별히 주의해야 한다. 반대로 공기보다 가벼운 물질인 수소, 헬륨 등은 천장으로 고이게 되므로 이 지역을 특별히 관리하도록 한다.

산소 부족으로 인한 심각한 사고의 원인으로서는
△ 밀폐공간에 충분히 퍼지를 수행하여 호흡이 가능할 정도로 유지하지 않은 경우
△ 적절하지 않게 공정배관을 분리하지 않은 경우
△ 용기로부터의 누출
△ 안전한 지역으로 공정배관의 밴트가 연결되지 않은 경우

 

○용기와 밸브(Gas Containers and Valves)

- 용기제작 및 보증(Container Construction and Certification)
용기에 사용되는 재질은 대부분 탄소강(Carbon Steel) 또는 알루미늄(Aluminum)으로 제작된다. 저압에서는 용접형 탄소강이 사용되고, 고압에서는 비용접형 탄소강 또는 알루미늄이 사용된다. 때때로 순도 또는 재질과의 호환성 등의 이유로 니켈, 스테인리스 스틸이 사용되기도 한다.

용기는 정기적으로 국제규격 또는 해당국가의 요구사항에 따라 시험하고 인증을 받아야 한다. 이 두 가지가 상충되는 경우 좀 더 엄격한 요구사항을 추천한다. 만일 상기의 시험을 통과하지 못하는 용기는 즉시 사용을 중지하고 수리를 거쳐 다시 시험을 통과하여야 하며 그렇지 못한 경우에는 폐기하여야 한다.

밸브의 사용 역시 상기의 용기와 동일하게 취급되어져야 한다. <그림 1>

- 용기 무게(Container Weight)
충전이 안 된 빈 용기는 그 무게가 200kg을 초과하는 것도 있고, 충전된 용기는 1000kg을 넘는 것도 있다. 이것은 용기의 취급 시 상당한 주의를 필요로 한다.

- 용기 증명(Container Identification)
모든 용기는 용기 몸체에 재질, 최초 검사날짜, 무게, 용적, 압력, 제작자, 재검사 날짜 등의 기본적인 정보를 담고 있어야 한다. 이러한 정보는 용기의 사용과 물리적인 강도 등을 이해하도록 도와준다. 재검사 날짜가 지난 용기는 재검사가 이루어지기까지 충전을 중단해야 한다.

용기 사용자는 용기의 내용물과 그 위험성에 대하여 공급자로부터 숙지를 하고 이와 동시에 물질보건안전자료(MSDS)도 읽고 파악하여야 한다.

몇몇 국가에서는 가스의 성질에 따라 색상으로 구분하는 경우도 있으나, 국제적으로 공통된 규격은 없다.


- 밸브 제작(Valve Construction)

용기에 장착되는 밸브들은 일정 압력 하에서 안전하게 견딜 수 있도록 제작된다. <그림2>

용기 밸브는 용기로부터 가스를 내보내거나 또는 외부로부터 가스를 도입하는 장치로 사용된다. 밸브의 몸체는 황동(Brass), 청동(Bronze), 스테인리스 스틸 또는 다른 종류의 가스에 적합한 금속으로 제작된다. 시트(Seat)의 재질은 여러 가지 다른 재질로 구성될 수 있으나, 크게 금속형과 좀 더 부드러운 고분자형으로 나눌 수 있다. 밸브 스템은 순도와 재질의 적합성에 따라 팩킹 또는 금속 다이아프램으로 구성된다.

밸브는 아래와 같이 조작할 수 있다.
△ 손잡이(Handwheel)을 사용하거나
△ 렌치(Wrench)를 사용하거나
△ 공압 기기를 사용
안전밸브(Pressure Relief Devices)는 종종 용기의 파손을 방지하기 위하여 설치되는데, 아래와 같이 4가지 방법이 있다.
△ 금속 다이아프램(Metal Diaphragm)
△ 용융성 플러그(Fusible Plug)
△ 스프링(Spring)
△ 다이아프램과 용융성 플러그의 직렬 설치 안전밸브를 설치하는 경우에는 이에 맞도록 가스를 용기에 충전하여야 한다. 밸브의 출구는 설계압력 초과하거나 재질의 부적합성 등을 방지하도록 설계되어야 한다. 연결구는 국제구격에 맞도록 설치되어야 한다.

종종 실란(Silane), 알신(Arsine), 포스핀(Phosphine) 등을 취급하는 밸브에는 용기로 부터의 가스 유량을 제한하기 위하여 RFO(Restriction Flow Orifices)를 설치하기도 한다. 특히 맹독성 EH는 자연발화성 물질을 취급하는 용기들은 밸브 출구에 캡(Cap) 또는 플러그(Plug)를 설치하여 우발적인 가스의 누출이 발생하지 않도록 한다. 물론 이때에도 캡이나 플러그가 용기의 설계압력을 충분히 견딜 수 있도록 하여야 한다.

 

○특수가스 용기의 취급, 저장 및 사용에 대한 좋은 습관(Good Practices for Handling, Storage and Use of Specialty Gases Containers)

- 취급과 사용(Handling and Use)
△ 모든 공장은 해당 국가의 규정 또는 국제규정(CGA, EIGA, AIGA)에 따라 가스의 누출 등에 대비한 비상대응계획(Emergency Response Plan)을 수립하여야 한다.
△ 반드시 교육을 받고 자격이 주어진 인원만이 특수가스를 취급하여야 한다.
△ 특수가스를 취급하는 경우에는 반드시 물질보건안전자료(MSDS)를 숙지하여야 한다.
△ 특수가스 취급 시에는 가스와 취급설비와의 재질 적합성을 검토하여야 하며 이에 대한 정보는 물질보건안전자료에서 얻을 수 있다.
△ 가스용기 취급 시에는 적절한 개인보호구를 착용하여야 한다. 안전화, 안전안경, 가죽장갑 등이 필요로 된다.
△ 주변정리 정돈, 특히 용기 주변에 가연성 또는 연소성 물질을 두어서는 안 된다.
△ 용기는 선입선출(First-In-First-Out)로 관리되어야 한다.
△ 오늘날에는 매우 다양한 용기밸브 및 연결구가 사용되고 있으므로 밸브의 나사산과 용기의 나사산이 반드시 일치하도록 한다. 나사산 불일치는 실린더 내부의 압력으로 인하여 대형 사고의 원인이 된다.
△ 용기를 충전하기 전에 용기에 손상이 있는지 살펴보고 수행한다.
△ 용기를 충전하기 전에 충전 전 검사 및 압력상태를 확인한다.
△ 밸브의 캡을 제거하기 전에 이물질 도는 곤충 같은 것이 있는지 확인한다.
△ 밸브의 캡 또는 플러그를 제거하기 전에 내부 가스누출이 있는지 확인하고 천천히 개봉한다.
△ 밸브의 캡 또는 플러그를 개봉할 때에는 밸브의 옆에서 수행하여 캡 또는 플러그로 인한 피해를 입지 않도록 한다.
△ 밸브의 출구와 호스의 청결상태를 점검한다.
△ 용기 연결에 어댑터(Adapter)를 사용하지 않는다.
△ 밸브의 개봉은 항상 천천히 주의 깊게 수행한다.
△ 밸브를 과도하게 조이지 않는다.
△ 용기를 충전하거나 사용할 때는 밸브 보호 장치가 부착되어 있어야 한다.
△ 용기를 끌거나 굴려서는 안 된다.
△ 위험한 가스 용기 이동 시에는 반드시 핸드휠 밸브가 묶여 있어 누출사고를 방지하도록 하여야 한다.
△ 원거리 이동 시에는 카트 또는 작은 손수레 등을 이용하여 운송한다.
△ 보호용 캡을 이용하여 용기를 들어 올리는 일이 없도록 하여야 한다.
△ 사용, 이동 및 저장 중에는 용기가 항상 묶여 있어야 한다.
△ 용기 표면에는 용접기와 같이 아크가 발생할 수 있는 기기와의 접촉을 하지 말아야 한다.
△ 전기적인 충격이 용기에 가해지지 않도록 한다.
△ 표백제 또는 소금물과 같은 부식성 물질에 노출되지 않도록 한다.
△ 용기 이송을 위해 롤러 등을 사용하지 않는다.
△ 사용하고 회수된 용기도 내부에는 잔량이 있으므로 가득한 용기와 동일하게 취급되어져야 한다.
△ 독성, 가연성 또는 부식성 물질을 충전하기 전에는 불연성 가스로 항상 퍼지를 수행하여야 한다.
△ 독성, 가연성 또는 부식성 물질을 사용하였던 기기를 분리하기 전에는 반드시 불연성 가스로 항상 퍼지를 수행하여야 한다.

 

○저장 (Storage)

- 일반적인 지침 (General Guidelines)
△ 용기는 건조한 상태에서 보관해야 한다.
△ 용기는 전도를 최소화하기 위하여 바닥면에 저장해야 한다.
△ 사용 전 용기와 사용 후 용기는 분리 저장한다.
△ 가스의 성질에 따라 용기를 분리 보관한다.
△ 하나의 저장실에는 서로 부적합한 용기들을 떨어뜨려서 저장하거나 30분 방화 성능을 가지는 불연성 재질을 이용하여 분리하여야 한다. 분할 칸막이는 가장 크기가 큰 용기보다 50cm 높거나 최소 1.5m를 유지한다.
△ 직접적인 햇빛 등의 영향을 피하기 위하여 저장온도는 최대 53℃ 또는 해당국가의 규정에 따르도록 한다.
△ 디보란, 일산화질소와 같이 어떠한 물질들은 자기분해를 하는데 이것을 방지하기 위하여 -10℃와 같은 낮은 온도를 필요로 하는 것도 있다.
△ 최대 저장량은 해당국가에서 규정하는 양 이상으로 저장하지 않도록 한다.
△ 수직으로 세워서 저장하는 용기들은 넘어지는 것을 방비하기 위하여 군집화, 팔레트 또는 체인 등으로 고정한다.
△ 톤 실린더 등과 같이 수평으로 저장하는 용기들도 움직임 방지를 수행한다.

- 환기(Ventilation)
△ 용기 저장실은 환기가 원활히 이루어지도록 한다.
△ 옥외 저장소의 경우 일반적으로 강제배기설비는 고려하지 않는다.
△ 환기설비 설계 시 가스의 밀도를 고려하여 수행한다.
△ 옥내 저장소의 경우 해당 국가의 환기지침을 따르도록 한다.

- 소화설비(Fire Fighting Systems)
△ 소화 설비는 해당 국가의 규정에 따르도록 한다.

- 인명안전 설비(Life Safety Systems)
△ 취급되는 가스에 적합한 가스 검지기를 설치하며 이에 따른 비상대응 지침을 해당국가의 요구에 따라 설치한다.
△ 가스 누출에 대비한 가스제거 설비 등을 고려하여야 한다.
△ 저장소의 출입구는 하나 이상으로 설치한다.

- 보안(Security)
△ 위험한 종류의 가스를 저장하는 저장소에는 반드시 허가된 인원만이 출입이 가능하도록 한다.

 

○가스 종류별 지침(Guidelines for Specific Gas Types)

- 가연성 가스(Flammable Gases)
△ 사용하기 전에 모든 누출가능 부위에 대한 누출검사를 수행한다.
△ 가연성가스는 열원, 스파크, 불꽃, 인화성 액체, 고독성 가스, 자연발화성 가스 및 조연성 가스로부터 분리하여 환기가 잘 되는 장소에 저장한다.
△ 가연성 가스는 또한 다른 위험물로부터 이격시켜야 한다.
△ 다량의 가연성 가스를 옥내에 저장하는 경우에는 방호벽과 지붕에 폭발방산구를 설치하여야 한다. 방호벽과 폭발방산구는 폭발로부터 발생된 압력을 안전하게 발출하기 위함이다.
△ 전자기기 즉, 휴대전화, 워키토키 등은 본질안전 구조가 아니라면 사용을 금지하여야 한다.
△ 가연성 가스의 방출은 적절한 조치를 취하고 안전하게 수행한다.
△ 해당국가에서 가연성 가스의 저장량을 규정할 수 있으며 위험성 평가를 요구할 수 있다.
△ 흡연과 같은 점화원 사용을 금지한다.
△ 가연성 가스를 취급하는 지역에서 사용하는 전기기기는 위험 Zone에 적합하도록 본질안전 구조와 같은 방폭구조 이어야 한다. 위험 Zone에 대해 고압가스안전관리법, 산업안전보건법, 소방법, IEC(International Electro-technical Commission), NEC(National Electrical Code) 등을 참조하도록 한다.
△ 스파크가 발생되지 않는 기구를 사용한다.
△ 가연성 가스를 취급하는 배관, 캐비닛 및 기기 들은 접지가 되어야 한다.
△ 가연성 가스를 취급하는 배관에는 필요한 지역에 역화방지기(Flashback Arrestor) 설치를 고려한다.

- 산화성 가스(Oxidizing Gases)
△ 사용하기 전에 모든 누출가능 부위에 대한 누출검사를 수행한다.
△ 산화성 가스는 열원, 스파크, 불꽃, 인화성 액체, 고독성 가스, 자연발화성 가스 및 가연성 가스로부터 분리하여 환기가 잘 되는 장소에 저장한다.
△ 산화성 가스는 또한 다른 위험물로부터 이격시켜야 한다.
△ 산화성 가스에 적합한 기구를 사용한다.
△ 외부 오염원으로부터 분리한다.
△ 산화성 가스의 방출은 적절한 조치를 취하고 안전하게 수행한다.
△ 적절하지 않은 환기설비를 잦추지 않은 지역에서 산화성 가스를 취급하는 경우에는 23.5% 이하의 산소농도를 유지하도록 하고 산소검지기를 설치한다.
△ 불소 또는 불소화합물을 취급하는 설비에는 보호막 입힘(Passivation)을 수행한다.

- 독성 가스(Toxic Gases)
△ 사용하기 전에 모든 누출가능 부위에 대한 누출검사를 수행한다.
△ 독성가스는 열원, 스파크, 불꽃, 인화성 액체, 고독성 가스, 자연발화성 가스 및 가연성 가스로부터 분리하여 환기가 잘 되는 장소에 저장한다.
△ 독성가스는 또한 다른 위험물로부터 이격시켜야 한다.
△ 독성가스를 취급 저장하는 설비에 들어가기 전에 반드시 고정 설치된 독성가스 검지 장치로부터 안전한 것을 확인한 후 수행한다.
△ 독성가스의 방출은 적절한 제거장치를 통과한 후 안전하게 수행한다.
△ 응급처치 장비, 비상 샤워설비 등을 갖추도록 한다.
△ 해당국가에서 독성 가스의 저장량을 규정할 수 있으며 위험성 평가를 요구할 수 있다.
△ 옥내에 설치된 고독성 가스를 취급하는 장소에는 들어가기 전에는 항상 안전한 수준의 농도인지를 확인한다.
△ 많은 독성가스는 부식성을 함께 내포하고 있어 적절한 재질 선정이 이루어져야 한다.

- 부식성 가스(Corrosive Gases)
△ 피부 등의 접촉을 방지하기 위한 적절한 개인보호구를 착용한다.
△ 응급처치 장비, 비상 샤워설비 등을 갖추도록 한다.

- 불활성 가스(Inert Gases)
△ 사용하기 전에 모든 누출가능 부위에 대한 누출검사를 수행한다.
△ 불활성 가스를 취급하는 옥내 설비에는 산소검지기를 설치하여 질식 상황에 대한 감시를 한다.
△ 옥내에서 취급되는 초저온 액체용기는 적절한 환기설비를 갖추도록 한다.

- 자연발화성 가스(Pyrophoric Gases)
△ 자연발화성 가스는 가연성 가스와 동일하게 취급해야 한다.
- 자기반응 및 중합가능 가스(Self-Reacting and Polymerizable Gases)
△ 사용하기 전에 모든 누출가능 부위에 대한 누출검사를 수행한다.
△ 충전된 실린더의 유효기간을 충족시키기 위한 선입선출을 수행한다.
△ 높은 온도, 녹 등의 입자로 인한 자기반응 또는 중합을 최소화한다.

가스용기의 취급(Handling Problem Gas Containers)
비상 상황에서 가스용기의 취급은 주변에 영향을 주거나 비상대응 대원들에게 해가 되지 않도록 최대한 빨리 제거할 수 있는 명확하고 상세한 지침서를 준비하여야 한다.

지금부터 설명하는 지침은 일반적으로서 특수한 경우에 대하여는 그에 적합하도록 별도로 작성해야 한다.

 
○일반적인 원칙(General Principles)

△ 특수가스 용기는 충분히 훈련되고 지식을 갖춘 인원만이 위급하도록 한다.
△ 만일 어떠한 상황에서 정확한 대처방법을 모른다면 지역 소방서 또는 비상대응팀에 즉시 연락하여 조치를 취하도록 한다.
△ 모든 점화원은 제거한다.
△ 적절한 개인보호구를 착용한다.
△ 가능하다면 배기작업은 안전한 장소로 용기를 이동시켜 수행한다.
△ 스크러버는 중화열로 발생되는 온도를 견딜 수 있도록 한다.
△ 가스가 제거된 용기는 결함 표시를 하고 적절한 방법으로 취급한다.
△ 용기의 상태가 불량인 경우 실린더의 벽면 또는 밸브의 몸체에 구멍을 만들어 폐기한다.
△ 문제가 발생된 용기의 내부물질을 제거하는 동안 배관 등의 누출된 부분이 용액 내부에 충분히 잠기도록 한다.
△ 철저히 훈련된 인원만이 문제된 용기의 가스를 제거하여야 한다.
△ 몇몇 가스가 가지고 있는 여러 가지 위험성 즉, 암모니아 같이 알칼리 가스는 공기 중의 농도가 용적 비율 16% 이상인 경우 독성, 부식성, 가연성을 가질 수 있다.

 

○가연성 가스(Flammable Gases)

△ 만일 밸브 작동이 가능하면 안전한 지역으로 용기를 옮겨 내부물질을 제거한다.
△ 가연성 가스는 소각로, 버너 등과 같이 태우는 방법이 바람직하다.

 

○산화성 가스(Oxidizing Gases)

불소, 염소, 삼불화 염소 등의 산성 가스는 무게 비율 15% 이상의 알칼리 용액으로 중화할 수 있다. 질산화물(Nitric Oxide), 이산화질소(N2O) 등의 산성 가스는 제거가 더욱 어렵다. 산소나 Nitrous Oxide는 안전하게 대기로 방출하여도 된다.

만일 어떠한 상황에서 정확한 대처방법을 모른다면 지역 소방서 또는 비상대응팀에 즉시 연락해 조치를 취하도록 한다.

 

○부식성 가스(Corrosive Gases)

삼성 염기성과 같은 부식성 물질은 산성 가스는 무게 비율 15% 이상의 염기성 용액, 염기성 가스는 무게 비율 10~20%의 산성 용액으로 중화할 수 있다

 

○불활성 가스(Inert Gases)

△ 밀폐공간에서 불활성 가스의 누출은 질식의 원인이 된다.
△ 불활성 가스의 방출은 밀폐공간으로부터 멀리 떨어진 안전한 지역으로 수행해야 한다.

 

○독성 가스(Toxic Gases)

만일 어떠한 상황에서 정확한 대처방법을 모른다면 지역 소방서 또는 비상대응팀에 즉시 연락하여 조치를 취하도록 한다.

△ 독성가스가 산성 또는 염기성인 경우 상기의 설명을 참조한다.
△ 독성가스가 산화성인 경우에도 상기의 설명을 참조한다.
△ 만일 독성가스가 Metal Hydride인 경우 상기 설명을 조합하여 대응하거나 정확한 대처방법을 모른다면 지역 소방서 또는 비상대응팀에 즉시 연락해 조치를 취하도록 한다.

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