AP, OCIM, 원익M 등
투자계획 앞다퉈 공개

반도체 제조기술 전문전시회인 ‘세미콘코리아 2016’이 27일 서울 삼성동 코엑스에서 개막된 가운데 다양한 반도체용 특수가스가 공개돼 가스관련 관람객들의 눈길을 사로잡았다.

국내 최대의 반도체용 특수가스제조업체로 지난해 말 (주)SK가 인수한 OCI머티리얼즈는 대표품목인 삼불화질소(NF₃)를 비롯해 육불화텅스텐(WF₆), 모노실란(SiH₄), 디실란(Si₂H₆), 디클로로실란(SiH₂Cl₂) 등의 홍보를 위해 소형 고압용기까지 직접 전시했다.

이밖에 일본 및 대만법인 설립, 중국의 진강 및 시안법인 등에 대해서도 소개하는 등 특수가스의 해외진출에 대한 내용을 패널로 눈에 띄게 꾸며 강조했다.

OCI머티리얼즈 박종흥 전무이사는 “지난해 반도체 등 전방산업의 호조에 힘입어 우리 회사도 높은 성장률을 기록했는데 급변하는 시대에 발맞춰 앞으로도 케미칼 등 더욱 다양한 분야에서의 소재개발이 요구되는 만큼 끊임없는 투자가 이뤄질 것”이라고 말했다.

지난 2002년 설립 이후 눈부신 성장을 이룩한 원익머트리얼즈는 향후 지속적인 설비투자로 고객의 요구에 적극 부응해 나간다는 계획을 중점 소개했다.

그동안 고순도 암모니아 및 아산화질소 등으로 특수가스전문메이커로 입지를 굳힌 원익머트리얼즈는 미국의 노바켐까지 인수해 저메인(GeH4) 등의 반도체 및 디스플레이 제조공정용 특수가스를 추가 공급하는 등 품목다각화에 성공했다.

이 회사 박창열 전무이사는 “충북 오창의 본사 및 제1공장, 그리고 세종시 전의면의 제2공장 외에 오창의 제3공장 신설계획에 따라 특수가스 품목을 대폭 확대함은 물론 대규모 연구소까지 건립한다”면서 “특히 전의 제2공장 부지에 연간 7만5000BT 생산능력을 가진 세계 최대 규모의 엑시머레이저 제조시설을 갖춰 반도체 및 디스플레이 제조라인에 공급할 것”이라고 밝혔다.

한편 에어프로덕츠는 한국 내 가스관련 사업을 크게 산업용가스와 특수가스부문으로 나뉘어 산업용가스사업은 에어프로덕츠코리아가 그대로 이어가고, 특수가스사업은 새로운 독립법인인 버슘머티리얼즈코리아(Versum Materials Korea)가 맡게 됨에 따라 앞으로 적지 않은 변화가 따를 것으로 보인다.

이에 따라 버슘머티리얼즈코리아 어준 부장은 “올해 세미콘코리아에는 에어프로덕츠란 상호로 참여하지만 향후에는 버슘머티리얼즈코리아로 나올 가능성이 크다”면서 “버슘은 전자산업에 필요한 특수가스, 전구체 등의 전문제조업체로 한국 내에서도 다양한 사업을 전개해 나갈 것으로 예상한다”고 덧붙였다.

하지만 에어리퀴드코리아, 린데코리아, 두진 등 지난해 세미콘코리아에 나왔던 업체들이 참여하지 않았다. 이와 관련 특수가스업계 전문가들은 앞으로 가스보다 프리커서 등 케미컬분야의 발전 가능성이 더 커질 것으로 예상됨에 따라 대다수 특수가스업체들이 케미칼분야로 대이동하지 않겠느냐는 전망을 내놓고 있다.