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세미콘코리아, 다양한 특수가스 관심반도체시장 적극 대응 위해
메이커들 신제품 개발 러시
한상열 기자  |  syhan@gasnews.com
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[1286호] 승인 2017.02.08  23:29:16
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▲ ➊ 린데코리아 양한용 전무 등 회사관계자들이 방문객들에게 특수가스사업의 확대계획을 강조하고 있다.  ➋ 원익은 이문용 부회장까지 부스에 나와 레이저믹스, 전구체 등 새로운 물질에 대해 설명하고 있다.  ➌ SK머티리얼즈 박종흥 전무 등 영업담당자들이 프리커스 등 더욱 다양한 제품 출시에 대한 계획을 밝히고 있다.  ➍ 버슘머트리얼즈코리아 장한순 상무 등이 관람객들에게 자사가 내놓은 각종 특수가스의 우수성에 대해 홍보했다.  ➎ 인테그리스 김도원 차장(오른쪽)이 관람객을 대상으로 이번에 선보이는 가스정제시스템인 게이트키퍼의 특장점을 소개하고 있다.  ➏ 제이티는 해외영업팀 김성철 과장 등이 반도체검사장비와 함께 고순도 및 혼합가스에 대해 설명해 관람객들로부터 인기를 얻었다. 

[가스신문=한상열 기자] 국내 최대의 반도체관련 전시회인 ‘세미콘코리아 2017’이 8일 서울 코엑스에서 열린 가운데 린데코리아, 원익머트리얼즈, SK머티리얼즈, 버슘머트리얼즈코리아, 인테그리스, JT CORP 등 특수가스 제조 및 공급장치 관련회사들이 대거 참여해 관람객들의 눈길을 끌었다.

반도체 소자업체에 파이프라인을 통해 대량의 질소 등을 공급하면서 아산화질소(NO), 불소(F) 등의 다양한 특수가스를 공급하고 있는 린데코리아는 관련제품의 확대 생산을 위해 증설계획을 밝혀 관심을 모았다.

원익머트리얼즈는 기존의 고순도 암모니아(NH3), 아산화질소(NO) 등 특수가스 외에 레이저혼합가스, 프리커서 등을 생산하기 위한 생산시설을 추가로 마련하고 현재 시험운전 중이라는 점을 강조했으며 연내 상업생산에 나선다는 계획을 관람객들에게 설명했다.

국내 최대의 특수가스메이커인 SK머티리얼즈도 삼불화질소(NF3), 육불화텅스텐(WF6), 모노실란(SiH), 다이실란(SiH), 다이클로로실란(SiHCl) 등에 이어 일본 트리켐, 쇼와덴코 등과 손잡고 전구체 등 새로운 물질의 공급계획을 내비쳤다.

지난해 에어프로덕츠코리아에서 특수가스부문의 사업으로 분사해 나온 버슘머트리얼즈코리아도 NF₃, WF₆, 육불화부타디엔(CF) 등 기존 특수가스제품은 물론 웨이퍼 가공공정에 안전하게 공급할 수 있는 장비들을 소개했다.

초소형 전자산업용 특수가스, 화학물질 등 첨단소재 처리솔루션을 제공하는 인테그리스는 최근 반도체 및 LED응용분야의 웨이퍼 수율을 대폭 개선해 주는 가스정제시스템(GPS)인 게이트키퍼(Gate Keeper)를 전면에 내세워 홍보했다.

또 충북 진천에 특수가스제조공장을 보유하고 있는 JT CORP도 NO, CO2 등의 각종 고순도가스와 혼합가스, 그리고 기존의 반도체검사장비를 출품해 관람객들로 호평을 받았다.

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