[가스신문=한상열 기자] 국내 최대의 반도체관련 전시회인 ‘세미콘코리아 2017’이 8일 서울 코엑스에서 열린 가운데 린데코리아, 원익머트리얼즈, SK머티리얼즈, 버슘머트리얼즈코리아, 인테그리스, JT CORP 등 특수가스 제조 및 공급장치 관련회사들이 대거 참여해 관람객들의 눈길을 끌었다.
반도체 소자업체에 파이프라인을 통해 대량의 질소 등을 공급하면서 아산화질소(N₂O), 불소(F₂) 등의 다양한 특수가스를 공급하고 있는 린데코리아는 관련제품의 확대 생산을 위해 증설계획을 밝혀 관심을 모았다.
원익머트리얼즈는 기존의 고순도 암모니아(NH3), 아산화질소(N₂O) 등 특수가스 외에 레이저혼합가스, 프리커서 등을 생산하기 위한 생산시설을 추가로 마련하고 현재 시험운전 중이라는 점을 강조했으며 연내 상업생산에 나선다는 계획을 관람객들에게 설명했다.
국내 최대의 특수가스메이커인 SK머티리얼즈도 삼불화질소(NF3), 육불화텅스텐(WF6), 모노실란(SiH₄), 다이실란(SiH₆), 다이클로로실란(SiH₂Cl₂) 등에 이어 일본 트리켐, 쇼와덴코 등과 손잡고 전구체 등 새로운 물질의 공급계획을 내비쳤다.
지난해 에어프로덕츠코리아에서 특수가스부문의 사업으로 분사해 나온 버슘머트리얼즈코리아도 NF₃, WF₆, 육불화부타디엔(C₄F₆) 등 기존 특수가스제품은 물론 웨이퍼 가공공정에 안전하게 공급할 수 있는 장비들을 소개했다.
초소형 전자산업용 특수가스, 화학물질 등 첨단소재 처리솔루션을 제공하는 인테그리스는 최근 반도체 및 LED응용분야의 웨이퍼 수율을 대폭 개선해 주는 가스정제시스템(GPS)인 게이트키퍼(Gate Keeper)를 전면에 내세워 홍보했다.
또 충북 진천에 특수가스제조공장을 보유하고 있는 JT CORP도 N₂O, CO2 등의 각종 고순도가스와 혼합가스, 그리고 기존의 반도체검사장비를 출품해 관람객들로 호평을 받았다.