17일, 경북도와 MOU 체결
NF₃ 2500톤 생산규모 증설

쇼와덴코와 합작법인 설립
CH₃F 20톤 생산규모 신설

[가스신문=한상열 기자] 국내 최대의 반도체용 특수가스메이커인 SK머티리얼즈(대표 임민규)는 연간 2500톤 생산규모의 NF₃(삼불화질소)제조공장 증설과 일본 쇼와덴코와 210억원 규모의 합작법인 설립에 따른 CH₃F 등 식각가스 제조공장을 설립하기 위해 총 1508억을 투자하기로 했다.

지난 17일 김관용 경북도지사, 장욱현 영주시장, 임민규 SK머티리얼즈 대표이사 등이 참석한 가운데 경북도와 SK머티리얼즈(주)가 투자금액 1508억원, 신규일자리 창출 105명 등을 내용으로 하는 투자양해각서(MOU)를 체결했다.

SK머티리얼즈는 지난 2001년 국내에서 처음으로 NF₃ 국산화에 성공했으며, 현재 연간 9200만톤 생산규모의 시설을 보유,  NF₃ 부문에 있어서는 세계시장 점유율 40%로 1위 기업에 우뚝 서 있다.

국내외 반도체 및 디스플레이 제조업체가 주요고객으로 고객사의 반도체 미세화 및 3D NAND 확산, OLED산업의 투자 확대 등으로 NF₃ 수요 급증에 대응하기 위해 연간 2500톤 생산규모의 증설을 추가로 추진하는 것이다.

SK머티리얼즈와 일본의 쇼와덴코가 합작해 설립하는 SK쇼와덴코는 반도체용 식각공정에 사용되는 CH₃F(플루오르메탄)를 연간 20톤 제조할 수 있는 1차 생산설비를 내년 하반기까지 준공하고 C₄F₆(육불화부타디엔) 등 고부가 CF계 가스사업도 단계적으로 추진할 계획이다.

CH₃F 등과 같은 식각가스는 실리콘 웨이퍼 필요 부분만 남겨두고 나머지 물질을 제거하는 반도체 공정인 식각과정에 사용되는 특수가스다. 향후 반도체 미세화 공정 및 3D낸드 확산에 따라 식각가스 수요가 증가할 것으로 전망된다.

식각가스시장은 올해만 2500억원 규모로 형성될 것으로 추산되며, 특히 SK쇼와덴코가 생산할 계획인 탄소·불소(CF계)는 3D 낸드플래시 적층화에 따라 사용량이 빠르게 늘어날 것으로 보인다.

이 회사는 지난해 4614억원의 매출을 올려 2015년 3380억원에 비해 무려 36.5% 급신장했다. 영업이익도 2015년 1128억원에 비해 지난해에 1541억원을 올려 36.6% 증가했다. 이 같은 양호한 실적을 통해 지난해 당기순이익은 무려 1106억원이나 올려 2015년 661억원보다 67.3%나 늘어나는 기염을 토했다.

한편 SK머티리얼즈는 중국, 대만, 일본 등지에 판매법인과 중국 진강에 1000톤 규모의 NF₃ 생산시설을 설립했으며, 반도체용 전구체를 생산하는 SK트리켐 합작법인 설립 및 산업용가스를 제조하는 SK에어가스 인수 등을 통해 나날이 성장, 세계적인 기업으로 발돋움하고 있다.