반도체 성장 저변에 특수가스의 역할 지대

종사자 200여명 참석, 정보공유의 장 호평

[가스신문=한상열 기자] 한국산업특수가스협회(회장 임민규)는 15일 서울 강남구 소재 삼정호텔에서 특수가스메이커를 비롯해 고압가스충전 및 판매소의 종사자, 그리고 특수가스 수요처의 안전관리자 등 200여명이 참석한 가운데 2017년 특수·독성가스 안전관리 세미나를 개최했다.

임민규 회장은 “반도체산업의 슈퍼호황에 힘입어 반도체 및 디스플레이 제조공정용 특수가스의 사용량이 급증하고 있다”고 전제하면서 “다양한 특수·독성가스를 제조·저장·운반·사용의 과정에서 안전관리의 중요성도 대두되고 있다”고 말했다.

임 회장은 또 “우리 협회는 최근 유해화학물질과 함께 큰 관심을 모으고 있는 특수가스의 안전관리를 주제로 한 세미나를 매년 열고 있다”면서 “이번 세미나도 특수가스업계 종사자들로 하여금 안전관리에 대한 정보공유의 장이 되기를 기대한다”고 덧붙였다.

이날 세미나의 주제발표 첫 순서는 가스안전공사 산업가스안전기술지원센터 박채모 과장이 ‘산업가스 안전기술 지원제도 이해 및 방향’에 대해 설명했다.

박 과장은 “오는 12월 6일 개소하게 될 산안센터에서는 5계열 23종의 독성가스 잔가스를 연간 3000BT를 처리할 수 있는 등 국내에서 유통되는 가스의 모든 종류는 모두 처리할 수 있다”면서 “이 가운데 학계 및 영세업체에 방치된 잔가스, 잔가스 처리시설이 없는 가스관련 제조 및 판매소, 기타 재검사 등 긴급한 경우 우선적으로 처리할 예정”이라고 밝혔다.

이와 함께 산안센터에서는 독성가스 검지기 시험인증도 지원하고 있는데 고압가스안전관리법에서 정한 독성가스로 가스검지기 유통량을 조사, 선정하며 적용대상 가스는 NO, CO, H₂S, SO₂, NH₃, HCl, GeH₄, PH₃ 등 총 8종이다.

이어 에어리퀴드코리아 신정수 부장이 ‘SiH₄ 설비의 특성 및 취급안전’을 주제로 폭발범위가 넓은 가연성가스인 모노실란을 고압용기, Y실린더, 튜브 등으로 충전했을 때 각각의 안전관리에 대해 상세하게 소개했다.

대성산업가스 이재홍 과장도 ‘독성가스 확산프로그램(ALOHA) 활용법’이란 주제를 통해 “ALOHA 프로그램의 용도는 가스 및 화학물질의 누출에 의한 시간에 따른 공간적인 오염 정보를 제공함으로써 응급상황에서의 적절한 비상대응을 하는데 도움을 주기 위함”이라며 “국내에서도 KOSHA에서도 장외영향평가 시 ALOHA 프로그램을 사용하고 있을 정도로 범용화 돼 있다”고 설명했다.

‘전자소재의 품질관리’에 대해 발표한 하나머티리얼즈 추광호 전무이사는 “전자소재의 품질은 원자재와 부자재를 동일하게 취급해야 하며, 공급사와 동일한 표준을 사용해야 한다”면서 “필요할 때 공급사의 공정을 확인하고 가장 좋은 품질의 제품이 나오는 공정을 선정해야 한다”고 강조했다.

추 전무는 또 “양품이 아닌 것은 그것이 어떠한 형태라도 불량”이라며 “통계량 측정 시 측정치 데이터의 중심으로부터 치우치는 정도를 나타내는 분산 척도를 산포”고 설명했다.

이와 함께 고객을 단순히 상품의 판매대상으로 보는 것이 아니라 고객이 가진 문제를 함께 노력, 해결하는 통합적인 목표로 임해야 한다고 주장했다.

마지막으로 에어프로덕츠코리아 이윤호 부장은 ‘특수가스 공정에서의 위험성 평가 Best Practice 공유’에 대해 발표했다.

이윤호 부장은 "일반고압가스시설로 안전보건공단의 공정안전보고서 제출 대상 사업장으로 적용될 수 있다"면서 "환경부의 유해화학물질을 저장, 제조하는 경우 장외영향평가서와 위해관리계획서 제출 및 적용하고, 주기적으로 관련기관에 의해 점검 및 평가를 받아야 한다"고 설명한 후 가장 필수적인 공정안전요소는 위험성 평가라고 강조했다.