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[신년 특별인터뷰]
반도체용 세라믹 공정·고체산화물연료전지 전문기업 ㈜미코 전선규 회장
남영태 기자  |  nam@gasnews.com
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[1374호] 승인 2019.01.02  23:29:00
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1996년 창립 이후 올해로 23년간 미코그룹을 이끌어오고 있는 전선규 회장은 젊은 날 사업을 시작했기 때문에, 현재 청춘을 바쳐 일하고 있는 임직원들에게 평생직장으로 보답하는 것이 꿈이라고 말한다.

‘선택에 대한 책임’을 철학으로 임직원들에게 항상 ‘즐겁게, 치열하게, 깨끗하게, 빠르게’라는 슬로건을 제시한 전 회장은 사업 추진 과정에서 많은 성공과 실패를 경험하면서 ‘정진(精進)하자’는 교훈을 얻었다고 강조했다.

그 결과 미코그룹은 국내외 유수의 반도체 및 디스플레이어 장비업체에 세라믹소재 제품을 공급하고 있으며, 지난해 SK하이닉스가 제2기 기술혁신 기업으로 미코를 선정, 관련 설비의 국산화 및 필드테스트 진행을 앞두고 있다.

더욱이 지난해 국내 첫 2㎾급 고체산화물연료전지시스템에 대한 한국가스안전공사 가스기기인증(KGS AB934)을 획득했으며, 이 과정에서 51.3%의 발전효율을 보이며 국내 최고 효율이라는 성과도 달성했다.

이에 전선규 회장을 만나 국내 세라믹 공정 및 에너지전문기업으로서 지속성장을 꾀하는 미코그룹의 계획 등을 들어본다.[가스신문=남영태 기자]

 

가스업계에 ㈜미코를 소개한다면
㈜미코는 지난 1997년 외환위기 전후 반도체 장비인 챔버(Chamber)를 구성하는 고가의 주요부품이 전량 수입에 의존하고 있어, 이를 국산화시키겠다는 목표아래 1996년 국내 최초 세라믹 재질 부품의 정밀세정과 특수코팅을 자체 개발하면서 챔버 구성 부품의 수명연장, 재생 사업으로 국내시장에 출사표를 던졌습니다.

이후 2009년 축적된 노하우를 바탕으로 세라믹 전문기업으로의 비전을 갖고 대규모 투자와 연구개발을 단행했습니다. 2013년 ㈜미코(모회사)를 세라믹 부품소재 전문기업으로 ㈜코미코(자회사)는 반도체 정밀세정, 특수코팅 전문기업으로서 기업분할해 현재 최고 수준의 기업으로 성장했습니다.

특히 미코는 전량수입에 의존하던 반도체 박막 공정용 질화알루미늄(AIN) 세라믹 히터와 반도체 식각 공정용 세라믹 정전척(Electro-Static Chuck; ESC) 개발에 성공했습니다. 또 세라믹 제조기술을 바탕으로 고체산화물연료전지(SOFC)시스템 자체 개발에도 성공, 소재·부품부터 시스템까지 생산·제조하는 국내 유일무이한 기업으로 발돋움했습니다.

 

많은 사업 아이템 가운데 세라믹을 선택한 이유는
반도체 공정은 대부분 화학적 반응을 기반으로 사용되며 이 과정에서 많은 세라믹 부품들이 활용됩니다. 반도체 공정이 실제로 이루어지는 챔버 내에는 ESC, 세라믹히터, 샤워헤드(Shaower Head), 링(Ring) 등 수많은 세라믹 부품이 사용됩니다. 이러한 엔지니어링 세라믹 제품들과 기능성 세라믹 제품들은 당시 국내 기술이 전무한 사항이었기에 미코는 국내 세라믹 산업발전에 이바지하고자 사업을 추진하게 됐습니다.

 

지난해 SK하이닉스가 미코 등 3개 기업을 ‘2018 기술혁신기업’으로 선정하고 다양한 지원에 나선다고 밝혔는데, 어떠한 분야의 기술개발이 이루어지나
최근 공정의 미세화가 한계에 부딪히면서 반도체 칩의 3차원화가 큰 이슈가 됐습니다. 여러 가지 필요한 기술들이 있지만, 특히 화학증착 수요가 급증하고 있습니다. 또 이 장비의 핵심부품이라 할 수 있는 세라믹히터의 수요도 같이 증가하고 있어, 고기능의 세라믹히터 개발이 절실히 요구돼 왔습니다.

현재 미코는 세라믹히터 생산을 안성과 강릉공장에서 연간 4200개(안성 1800개, 강릉 2400개)를 생산할 수 있는 국내 최대 능력을 보유했습니다. 또 증가하는 고성능 히터의 수요를 맞추기 위해 현재 추가 증설 계획도 수립 중입니다.

이와 더불어 이번 SK하이닉스와 중장기적으로 고성능 세라믹히터 개발을 진행합니다. 이번 협약은 미코 뿐만 아니라 국내 유수의 화학증착장비 업체와 3자 공동 개발프로젝트이기 때문에 성공 가능성은 어느 때보다 높습니다.

 

자체생산성을 높이기 위한 노력은
우선 자회사인 코미코에서 진행하는 정밀 세정, 코팅 분야는 최근 국내를 비롯 세계 유수의 반도체 제조사와 장비 기업들과 협업이 크게 증가했습니다. 특히 AIN, Y2O3(이트리아) 계열의 세라믹 부품을 자체개발해 국산화를 달성함으로써 60% 이상의 시정점유율을 확보했습니다.

더불어 세라믹히터는 국내 시장점유율 80%를 보유하고 있으며, 세계적인 장비회사와 고성능 히터 공동 개발을 진행하는 등 시장을 선도하고 있습니다.

뿐만 아니라 지난 10년 이상 시간과 노력을 투자한 고체산화물연료전지 외 ESC는 현재 최신 공정에 적용하기 위한 막바지 과정에 있습니다. 보다 신뢰성이 확보된 제품을 시장에 출시하기 위해 현재 관련 분야의 최고 기술력을 가진 일본 기업과 협력관계를 체결하고, 2020년 가시적인 성과를 위해 노력하고 있습니다.

 

반도체산업의 미래를 어떻게 전망하는가
현재 불안한 세계경제 상황과 D-RAM, 낸시플래시 가격하락 및 공급과잉이 현실로 나타나고 있지만, 중장기적으로 4차 산업혁명 시대에 따른 신산업 수요창출 등으로 반도체 산업에 대한 성장은 의심할 여지가 없다고 생각합니다.

다만 미래에는 중국의 반도체산업이 급성장 할 것으로 전망됩니다. 실제로 중국 호북성 무한, 안휘성 허페이 등을 방문하면 산업계는 물론 정부 역시 산업육성에 강한 의지를 갖고 있는 것을 확인할 수 있습니다.

중국 반도체기업들이 공정 미세화, 양산 수율문제로 어려움을 겪겠으나 수년 내에 가격·기술경쟁력을 확보할 것이며 중국정부 보조를 통한 강력한 정책지원으로 급성장할 것입니다.

때문에 향후 국내 반도체 산업계가 해외기업과의 경쟁에서 뒤처지지 않기 위한 정부를 비롯한 민·관의 협조 및 관련 인프라 조성이 절실한 상황입니다. 즉, 국내 부품소재 전문기업들이 성장할 수 있는 정책지원과 인프라 구축만이 국내 반도체 산업이 성장할 수 있는 길임을 강조하고 싶습니다.

 

세라믹 전문기업이 SOFC시스템 全 영역에 도전하게 된 계기는
SOFC개발의 핵심은 스택 제조 기술 보유에 있습니다. 특히 세라믹, 유리, 금속 등의 이종소재를 고온에서 소결해 제조해야 하는 SOFC 스택 제조 공정의 특수성에 기인해, 전 세계적으로도 불과 몇몇 기업들만이 자체 제작이 가능한 상황입니다.

또 신뢰성 있는 스택을 제조하기 위해선 품질관리 노하우는 물론 시스템 실증의 피드백도 요구됩니다. 때문에 미코는 반도체 세라믹 소재부품 사업영역에서 그간 축적된 오랜 기술적 노하우가 있었기에 가능했습니다.

이 과정에서 관련 사업의 성장을 도모하고자 지난 2016년부터 시스템 개발에 착수했고, 현재 2㎾급 SOFC시스템(제품명 TUCY) 제조 기술을 보유하게 됐습니다.

 

SOFC 사업화를 위한 미코의 계획은
우선 저는 SOFC를 CFCPG(Carbon Free Ceramic Power Generator)로 명칭하고 싶습니다. 궁극적으로 연료전지설비에서 발생된 이산화탄소를 포집하고, 높은 효율로 전력을 생산할 수 있는 무한한 청정 발전원이 SOFC이기 때문입니다. 이는 미코가 연료전지 전문기업으로써 카본프리로 산업성장과 더불어 환경보존에도 앞장서고자 하는 목표, 지향하는 바이기도 합니다.

이에 우선 올해부터 단계적 투자를 진행코자 합니다. TUCY 시스템 증산과 ~10㎾급의 고출력 시스템 모듈 및 이를 이용한 시스템 개발을 계획 중입니다.

특히 올해 TUCY의 양산체계 구축을 위해 CFCPG(SOFC) 스택 생산라인을 증설할 계획입니다. 올해 상반기까지 연간 1㎿규모로 증설하고, 연말까지 3㎿규모로 확충하고자 합니다. 나아가 2022년까지 연간 총 10㎿규모의 스택 생산량을 확보할 계획입니다.

또 현재 5~10㎾급 고출력 CFCPG(SOFC)시스템 개발에 착수했으며 이를 기반으로 수백㎾급 이상 고용량 수요에 대응 가능한 제품도 2020년 출시할 예정입니다.

 

향후 CFCPG(SOFC)사업을 국내외 기업과 협력해 진행할 계획이 있는가
연료전지 시장은 매우 광범위합니다. 때문에 다양한 사업적 협력 가능성을 열어두고 시장을 준비하고 있다고 보시는 것이 맞겠습니다. 단순한 자금투자가 목적이 아닌, 새로운 시장 개척에 발생할 수 있는 위험요소를 함께 감소시킬 도전정신이 있는 국내외 모든 기업과 협력할 준비가 되어 있습니다.

 

앞으로의 미코의 CFCPG(SOFC) 사업 행보는
미코는 2㎾급 시스템을 기반으로 실증사업을 통해 우선 건물용 정책시장에 진입하고자 합니다. 실증을 통해 설비의 안정성·신뢰성을 높임과 동시에 기술적 완성도도 높일 것입니다.

더불어 양산을 통해 경제성을 확보한다면 자연스럽게 가격·기술경쟁력 등을 확보할 수 있을 것으로 예상되며, 다양한 시스템 출시와 연료 다변화를 통해 응용분야의 확대도 추진코자 합니다.

현재 계획을 수립하고 있습니다만 모듈화 기술을 통해 수십㎾ 이상의 시스템을 개발해, 발전사업에도 도전할 계획입니다. 또 CFCPG(SOFC)의 강점을 살려 연료를 다양하게 이용할 수 있는 시스템도 개발할 것입니다. 이는 국내외 다양한 수요처에 적극 대응하기 위함입니다.

즉 미코는 고효율 CFCPG(SOFC)시스템을 기반으로 청정 분산발전사업으로 진출하는 것으로 사업방향을 설정했습니다.

 

현재 국내 CFCPG(SOFC)산업에 필요한 정부 지원책은
현재 해외기업들이 국내 연료전지발전시장에 진출했습니다. 이를 통해 국내 연료전지시장의 파이를 키우고, 국내 기업의 경쟁력을 향상시키는 모티브가 된다면 순기능이라 할 수 있습니다.

그러나 현실은 그렇지 못합니다. 사실상 세금으로 조성된 발전용 정책시장이 성장하는 것처럼 보이나, 그에 걸맞게 국내 연료전지 제조산업의 성장에 큰 기여를 하지 못한다는 것이 아쉽습니다.

또 한국이라는 무대에 해외 기술이 주인공이 돼 자칫 그간 노력해온 국내 관련 기업들의 기술이 꽃을 피우기도 전에 종속될 수 있다는 우려의 목소리도 있습니다.

더욱 안타까운 것은 현재 CFCPG(SOFC)설비가 한국가스안전공사(KGS) 가스기기 인증을 획득했음에도, 정부 보급사업에 참여할 수 없습니다. 보급사업 참여를 위해 국가 신재생에너지인증(KS)을 취득해야 하는데, 현재 CFCPG(SOFC)에 대한 근거규정이 없어 인증을 받고 싶어도 받지 못하는 상황입니다.

특히 국책과제로 CFCPG(SOFC)에 대한 KS인증 기준마련도 더디게 진행되고 있어 산업계가 신재생에너지원인 연료전지시스템 개발에 성공해, 안전검사를 완료했음에도 보급할 수 있는 여건은 사실상 막혀있는 실정입니다. 때문에 현재 정부가 규제혁신을 정책기조로 설정한 만큼, 이중 인증제도는 완화가 필요합니다.

즉, 연료전지설비 특성 상 KGS로부터 가스기기 인증을 취득해야 하고, 인증을 획득하면 KGS는 KC인증을 부여합니다. 이 같은 KC인증을 KS인증으로 대체할 필요가 있습니다. 이는 단순히 인증 틀만 변화시키는 것이 아닙니다. 이 같이 인증이 통일성을 가질 경우 기업의 이중부담, 보급사업 참여로 산업화 촉진 등을 모두 해결할 수 있는 최적의 대안입니다.
 

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