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세미콘코리아 2019, 반도체용 특수가스메이커 대거 참가
한상열 기자  |  syhan@gasnews.com
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[1377호] 승인 2019.01.23  17:31:54
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▲ SK머트리얼즈 전시부스. SK에어가스, SK쇼와덴코, SK트리켐 등도 함께 나와 홍보했다.

 

   
▲ 원익머트리얼즈가 개발한 신개념 스키드. 다양한 크기의 Y톤용기를 운반할 수 있도록 설계됐다.

 

SK머티리얼즈, 원익머트리얼즈
버슘머트리얼즈, 인테그리스 등

드라스타, SMC, 로타렉스 등은
레귤레이터, 밸브 등 전격 공개

[가스신문=한상열 기자] 국내 최대의 반도체전문전시회인 ‘세미콘코리아 2019’가 22일 서울 강남구 코엑스에서 개막된 가운데 SK머티리얼즈, 원익머트리얼즈, 버슘머트리얼즈코리아, 인테그리스 등의 반도체용 특수가스메이커와 SMC, 드라스타, CKD, 로타렉스루스테크 등 특수가스용 밸브 및 레귤레이터 공급업체들이 대거 참여해 관람객들의 눈길을 끌었다.

SK머티리얼즈는 삼불화질소(NF3), (육불화텅스텐(WF6) 등의 특수가스뿐만 아니라 자회사인 SK에어가스의 산업가스(산소, 질소, 아르곤), SK트리켐의 전구체(Precursor), SK쇼와덴코의 식각가스(CH3F, C4F6), 그리고 신규사업인 고기능성 웻 케미칼(Wet Chemical)까지 다양한 제품과 통합물류시스템(BSGS:Bulk Specialty Gas Supply System)등 다양한 품목을 소개했다.

고순도 아산화질소(N2O), 불소(F2) 혼합가스, 고순도 이산화탄소(CO2), 사이클로뷰테인(C4H8) 등 반도체와 디스플레이의 세정·식각·증착공정에 쓰이는 가스를 주로 제조하고 있는 원익머트리얼즈는 이번 전시회에 Y톤용기 운반용 스키드를 개발, 선보여 많은 관심을 모았다. 원익머트리얼즈가 개발한 스키드는 다양한 크기의 Y톤용기를 장착할 수 있도록 설계함으로써 특수가스수요처의 환경에 맞춰 얼마든지 조절할 있어 호평을 받을 것으로 보인다.

버슘머트리얼즈코리아도 박막증착에 사용되는 전구체를 비롯해 챔버클리닝공정에 필요한 삼불화질소(NF3), 육불화텅스텐(WF6), 육불화부타디엔(C4F6), 아산화질소(N2O) 등에 대해 홍보했다.

이와 함께 인테크리스는 레귤레이터를 장착한 소형 특수가스용기에 아르신(AsH3)과 포스핀(PH3) 등의 가스를 충전한 제품을 중점적으로 홍보했다. 인테그리스는 또 PSS 인수를 통해 확보한 기술로 액체류 프로세스에서 바로 온라인 및 실시간 입도 분석을 지원할 수 있게 됐다는 점도 강조했다.

이밖에 △가스공급장치의 오토 레귤레이팅시스템을 선보인 SMC △WF6 등 부식이 강한 특수가스용 레귤레이터을 공개한 드라스타 △공기의 압력을 이용해 자동으로 작동하는 자동밸브를 출품한 로타렉스 루스테크 △공압밸브, 프로세스 가스용 밸브, 집적화 가스공급시스템을 전시한 CKD 등 특수가스용 밸브 및 레귤레이터 공급업체들의 부스도 관람객으로부터 큰 인기를 얻었다.

 

   
▲ 인테그리스 김도원 부장(오른쪽)이 필터를 걸쳐 공급되는 특수가스공급체계에 대해 설명하고 있다.
   
▲ 헬륨 및 헬륨혼합가스를 비롯해 각족 특수가스를 소개하고 있는 KCTNS 부스.
   
▲ 가스공급장치의 오토 레귤레이팅 시스템을 선보인 SMC의 전시부스.
   
▲ 드라스타 윤승찬 사장이 특수가스용으로 제조한 다양한 레귤레이터을 선보이고 있다.
   
▲ 공압밸브, 프로세스 가스용 밸브, 집적화 가스공급시스템을 전시한 CKD 부스,
   
▲ 로타렉스 루스테크가 전시한 특수가스용 밸브. 공기의 압력을 이용해 자동으로 작동된다.
 
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