▲ 표과원 김진석 박사가 환영사를 통해 참석자들에게 가스분석의 중요성에 대해 강조하고 있다.

 

김진석 박사, "순도분석
불순물 측정으로 결정돼"

[가스신문=한상열 기자] 한국표준과학연구원은 지난 18일 제주 리젠트 마린더블루호텔에서 고압가스관련업체의 가스분석관련 직원 등 60여명이 참석한 가운데 가스분석 측정클럽 워크숍을 개최했다.

‘고순도가스의 순도분석’을 주제로 한 열린 이번 워크숍에서 김진석 표과원 박사는 환영사를 통해 “가스분석과 관련한 기술은 한국표준과학연구원이 글로벌 톱”이라고 전제하면서 지난 25년 간 가스분석과 관련한 업무를 하면서 산업용 고압가스공급업체 관계자들과 호흡을 함께 하는 것을 가장 소중하게 여긴다“고 강조했다.

이어 이상일 표과원 가스분석표준센터 센터장은 축사를 통해 “표과원이 주최하는 가스분석측정클럽 워크숍은 참가자들이 해마다 높은 관심을 갖고 참여하고 있다”면서 “다양한 세션으로 준비한 이번 워크숍이 참석자 여러분의 회사 및 업무에 큰 도움이 되기 바란다”고 말했다.

이날 첫 번째 연사로 '일반가스 순도분석과 표준물질'에 대해 발표에 나선 김진석 박사는 “가스의 순도분석은 불순물 측정으로 결정된다”면서 “특히 의료용가스의 순도분석을 할 때 나머지 불순물을 분석하는 것이 매우 중요한 데 이 가운데 일산화질소(NO)가 포함되면 위험할 수 있으므로 분석을 잘 해야 한다”고 설명했다.

이어 표과원 김용두 박사는 ‘천연가스 표준물질을 위한 원료가스 순도분석’이란 주제를 통해 “천연가스의 성분과 농도의 분석은 열량 1만500kcal을 맞추기 위한 것으로, 매우 중요하다”면서 “분석을 통해 천연가스의 품질을 관리한다”고 덧붙였다.

특수가스 순도분석(클로로실란류의 취급과 품질분석)이란 주제로 발표에 나선 MS가스 김석수 상무는 특히 실리콘웨이퍼 제조공정용 특수가스와 반도체 및 TFT-LCD공정용 독성가스 등의 특수가스 종류 및 용도에 대해 설명하고 클로로실란류 저장탱크 누출사고, 누출사고 대응 안전설비 등 특수가스의 취급안전에 대해 강조했다.

대성산업가스 초저온연구소 정우찬 부장은 '반도체용 특수가스 중 금속 불순물 분석'이란 주제로 반도체 공정에서 금속 불순물의 영향 등 금속 불순물 분석 도입의 배경에 대해 발표했다. 이로 인해 에칭공정, CVD공정 등 반도체 제조공정에서의 오염에 대해 설명하고 분석환경, 분석기, 분석방법 등 금속 불순물 구성요소도 설명했다.

정 부장은 또 반도체용 특수가스의 분석에 있어서 고압용기의 품질 수준이 더 중요하므로 용기의 보증이 우선돼야 할 것이라면서 앞으로 금속 불순물 분석과 관련한 전처리 기술이 매우 중요하다고 했다.

지앤엘 인민교 이사가 '반응성가스 분석장비 소개'라는 주제로 각종 반도체 특수가스를 에칭, 이온 임플란트, 도핑, 어닐링 등 제조공정용으로 나뉘어 설명했다. 반응성가스에 따라 분석기의 역할 및 종류에 대해서도 자세히 소개했다.

첫날 마지막 세션을 준비한 표과원 가스분석표준센터 첨단장비연구소 환경측정장비팀 정진성 박사는 '미세면지 현황 및 인체 유해성'이란 주제로 먼지와 가스가 떨어져 있는 게 아니라고 설명했다. 또 중국과의 공동대응이 필요하다고 강조하고 질소산화물을 배출하는 물질은 화물차, RV 등 경유차 운행이 미세먼지에 가장 큰 영향을 주고 있다고 지적했다.

이튿날에는 이상일 표과원 가스분석표준센터장이 '표과원 가스분석팀의 위상과 국제비교 실적'을 소개했다. 특히 이 센터장은 "몇몇 표준가스 제조시설은 대만 등 해외에 공급하는 등 기술력을 인정 받고 있다"면서 "고순도가스와 대기오염기준물질, 자동차배기가스 등의 표준가스 등 측정표준 보급을 보급하고 있다"고 강조했다.

이번 워크숍에서는 몇몇 연사들의 주제발표가 끝난 후 참석자들의 질의응답이 쏟아지는 등 가스분석과 관련해 높은 관심도를 나타냈다.

행사 마지막 순서로 '워크숍 총평 및 측정클럽 활성화 방안'을 놓고 진행을 맡은 김진석 박사는 "측정을 정확하게 하지 않고는 가스와 관련해 아무런 일을 하지 못한다"면서 측정의 중요성을 설명하고 "최근 참석자들 중심으로 가스분석표준센터와 많이 교류하고 있는 등 앞으로 측정클럽이 더욱 활성화될 것으로 기대된다"고 말했다.

 

▲ 2019 가스분석 측정클럽 워크숍 참석자들이 기념촬영을 하고 있다.
저작권자 | 가스신문 무단전재 및 재배포 금지 구독신청