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특허정보
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가스 캐비넷 장치
GAS CABINET APPARATUS
·출원번호: 10-2020-0019514
·출원일자: 2020.02.18
·출원인: 삼성전자주식회사
·요약
가스 캐비넷 장치는 캐비넷 모듈, CGA 홀딩 모듈, 체결 모듈, 고정 모듈 및 밸브 개폐 모듈을 포함할 수 있다. 상기 캐비넷 모듈은 복수개의 가스 용기들을 수용할 수 있다. 상기 CGA 홀딩 모듈은 상기 캐비넷 모듈에 배치되어, 상기 가스 용기들의 공기 작동식 밸브를 가스 배관에 연결시킬 수 있다, 상기 체결 모듈은 상기 캐비넷 모듈에 배치되어, 상기 가스 용기들의 교체 작업을 수행할 수 있다. 상기 고정 모듈은 상기 캐비넷 모듈에 수용된 상기 가스 용기들을 고정할 수 있다. 상기 밸브 개폐 모듈은 상기 캐비넷 모듈에 배치되어, 상기 가스 용기들의 공기 작동식 밸브를 선택적으로 폐쇄할 수 있다. 따라서, 가스 누설로 인한 인체에 유해한 가스가 작업자에게 노출되는 것을 방지할 수 있다.
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