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특허정보
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질소 가스의 단독 사용이 가능한 캐리어 가스 공급장치
carrier gas supplying apparatus capable of using nitrogen gas only
·출원번호: 10-2021-0130896
·출원일자: 2021.10.01
·출원인: (주) 리노닉스
·요약
본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 가스 공급장치는 질소가 공급되는 질소 공급유로; 상기 질소 공급유로와 합류되고, 헬륨이 공급되는 헬륨 공급유로; 상기 질소 공급유로와 상기 헬륨 공급유로가 합류되고, 가스 패널에 연결되어 상기 가스 패널에 캐리어 가스를 공급하는 메인 공급유로; 상기 메인 공급유로에 구비되고 상기 메인 공급유로를 가열하여 상기 질소를 가열시키는 히터 모듈; 상기 메인 공급유로에 연결되어 파티클을 여과하는 마이크로 필터; 및 상기 메인 공급유로에 연결되고 상기 마이크로 필터의 후단에 연결되어, 상기 캐리어 가스의 유량을 측정하는 질량유량계; 를 포함한다.
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