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가스 공급 장치
Device for gas supply
·출원번호: 10-2022-0048225
·출원일자: 2022.04.19
·출원인: 삼성전자주식회사
·요약
로봇을 통해 가스 실린더에 결합된 엔드캡의 위치를 검출하여, 엔드캡의 분리 및 가스 실린더와 제조 설비의 배관을 연결하는 가스 공급 장치가 제공된다. 상기 가스 공급 장치는 가스 분사 노즐을 포함하는 가스 실린더, 상기 가스 분사 노즐과 결합되거나 분리될 수 있는 엔드캡, 이동 가능하고, 상기 엔드캡의 위치를 센싱하기 위한 제1 센서모듈과, 상기 엔드캡과의 충돌을 감지하기 위한 제2 센서모듈을 포함하는 체결로봇, 및 상기 체결로봇에 설치되고, 상기 엔드캡의 위치를 확인하기 위한 탐색 글랜드를 포함하는 체결모듈을 포함하되, 상기 체결로봇은, 상기 제1 센서모듈을 이용하여 상기 엔드캡의 위치를 센싱하고, 상기 제1 센서모듈의 센싱값을 기초로 이동하며, 상기 제2 센서모듈을 이용하여 상기 탐색 글랜드와 상기 엔드캡의 충돌을 센싱하고, 상기 엔드캡을 상기 가스 실린더로부터 분리하여 상기 체결모듈에 보관하는 것을 포함한다.

2024-02-27 11:45:36 106.244.207.50

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