특수가스제조업체들 새로운 품목 대거 공개

국내 최대 규모의 반도체장비재료산업전시회인 ‘세미콘코리아 2015’가 4일 서울 삼성동 코엑스에서 20개국 500여개사가 참가, 총 1800여개의 부스를 마련한 가운데 화려하게 개막됐다.

특히 에어프로덕츠코리아, 린데코리아, OCI머티리얼즈, 원익머트리얼즈, 에어리퀴드코리아 등 반도체 및 디스플레이 공정용 특수가스공급업체들이 대거 참가해 관람객들의 시선을 모았다.

삼성전자의 신공장이 들어설 평택 고덕산업단지에 온사이트 플랜트 건설을 통해 산업용가스를 공급하게 된 에어프로덕츠코리아는 각종 산업용가스 및 특수가스를 여러 개의 터치스크린을 설치해 방대한 자료를 자세하게 소개했다.

또 린데코리아는 특수가스 주력품목인 온사이트 불소(F₂)제너레이터와 아산화질소(N₂O) 등에 대한 품질의 우수성을 전면에 내세우고 제논디플로이드(XeF₂) 및 염화수소(HCl) 등도 관람객들에게 선보였다.

최근 삼불화질소(NF3)의 수요가 증가하면서 활기를 찾은 OCI머티리얼즈도 기존의 모노실란(SiH₄), 육불화텅스텐(WF₆) 등 외에 디실란(Si₂H₆), 이염화실란(SiH₂Cl₂) 등도 소형 고압용기를 통해 전시했다.

세계적인 전구체 제조업체인 노바켐과 손을 잡은 원익머트리얼즈는 암모니아(NH₃), 아산화질소(N₂O) 등의 고순도 특수가스와 저메인 외에 이번에는 실리콘계열의 각종 전구체(precursor)를 집중적으로 공개해 관심을 끌었다.

지난해 반도체 제조공정용 실리콘 전구체로 알려진 TSA(트리실릴아민 Trisilylamine) 연간 20톤, SAM.24™(실란디아민 Silanediamine) 연간 10톤의 생산능력을 갖춘 공장을 경기도 화성에 마련한 에어리퀴드코리아도 다양한 전구체 제품을 소개해 호응을 얻었다.

이밖에 초저온장비공급업체인 두진도 CO₂정밀세정, 진공배관, 수소발생기 등 다양한 제품을 마련, LED코리아2015에 참가해 관람객들의 눈길을 끌었다.