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세미콘코리아 4일 화려한 개막
한상열 기자  |  syhan@gasnews.com
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[1194호] 승인 2015.02.05  08:50:04
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특수가스제조업체들 새로운 품목 대거 공개

국내 최대 규모의 반도체장비재료산업전시회인 ‘세미콘코리아 2015’가 4일 서울 삼성동 코엑스에서 20개국 500여개사가 참가, 총 1800여개의 부스를 마련한 가운데 화려하게 개막됐다.

특히 에어프로덕츠코리아, 린데코리아, OCI머티리얼즈, 원익머트리얼즈, 에어리퀴드코리아 등 반도체 및 디스플레이 공정용 특수가스공급업체들이 대거 참가해 관람객들의 시선을 모았다.

삼성전자의 신공장이 들어설 평택 고덕산업단지에 온사이트 플랜트 건설을 통해 산업용가스를 공급하게 된 에어프로덕츠코리아는 각종 산업용가스 및 특수가스를 여러 개의 터치스크린을 설치해 방대한 자료를 자세하게 소개했다.

또 린데코리아는 특수가스 주력품목인 온사이트 불소(F2)제너레이터와 아산화질소(N2O) 등에 대한 품질의 우수성을 전면에 내세우고 제논디플로이드(XeF2) 및 염화수소(HCl) 등도 관람객들에게 선보였다.

최근 삼불화질소(NF3)의 수요가 증가하면서 활기를 찾은 OCI머티리얼즈도 기존의 모노실란(SiH4), 육불화텅스텐(WF6) 등 외에 디실란(Si2H6), 이염화실란(SiH2Cl2) 등도 소형 고압용기를 통해 전시했다.

세계적인 전구체 제조업체인 노바켐과 손을 잡은 원익머트리얼즈는 암모니아(NH3), 아산화질소(N2O) 등의 고순도 특수가스와 저메인 외에 이번에는 실리콘계열의 각종 전구체(precursor)를 집중적으로 공개해 관심을 끌었다.

지난해 반도체 제조공정용 실리콘 전구체로 알려진 TSA(트리실릴아민 Trisilylamine) 연간 20톤, SAM.24™(실란디아민 Silanediamine) 연간 10톤의 생산능력을 갖춘 공장을 경기도 화성에 마련한 에어리퀴드코리아도 다양한 전구체 제품을 소개해 호응을 얻었다.


이밖에 초저온장비공급업체인 두진도 CO2정밀세정, 진공배관, 수소발생기 등 다양한 제품을 마련, LED코리아2015에 참가해 관람객들의 눈길을 끌었다.

 

   
▲ 다양한 아이템을 터치스크린을 통해 소개하고 있는 에어프로덕츠코리아 전시부스.

 

 
   
▲ 린데코리아도 불소, 아산화질소 외에 다양한 특수가스를 선보였다.
 

 

   

▲ 최근 삼불화질소의 수요가 늘면서 투자를 늘린다는 점을 강조하고 있는 OCI머티리얼즈 전시부스.

 

   

▲ 원익머트리얼즈는 새로운 프리커스제품을 들고 나와 관람객들의 관심을 모았다.

 

   

▲ 각종 특수가스 및 전구체 관련제품을 소개하고 있는 에어리퀴드코리아 전시부스.

 

   

▲ 소형 고압용기를 통해 각종 특수가스를 소개한 OCI머티리얼즈.

 

   

▲ 원익머트리얼즈가 노바켐과 손잡고 내놓은 다양한 전구체 제품들.

 

   
▲ 두진은 초저온 진공배관, CO2 정밀세정, 수소발생기 등 다양한 아이템을 선보였다.
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