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린데코리아 등 특수가스메이커 대거 참여세미콘코리아2018 개막
한상열 기자  |  syhan@gasnews.com
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[1333호] 승인 2018.01.31  19:36:37
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▲ 린데코리아

 

원익M, SKM, 버슘M 등
다양한 특수가스 선보여

로타렉스, 드라스타 등도
레귤레이터
·밸브류 전시

[가스신문=한상열 기자] 국내 최대의 반도체 전문전시회인 ‘세미콘코리아2018’이 1월 31일 서울 코엑스에서 개막된 가운데 반도체제조공정용 특수가스를 공급하는 메이커들이 대거 참여해 자사의 다양한 가스제품을 홍보해 눈길을 끌었다.

   
▲ 원익머트리얼즈

2월 2일까지 사흘간 열리는 이번 전시회에는 린데코리아, SK머티리얼즈, 원익머트리얼즈, 버슘머트리얼즈코리아, 인테그리스 등 반도체용 특수가스 전문메이커는 물론 로타렉스 루스테크, 드라스타 등 고압가스용 밸브 및 레귤레이터공급업체도 신제품을 전시해 관람객들로부터 호평을 받았다.

국내 굴지의 산업용가스 및 특수가스공급업체인 린데코리아(대표 스티븐 셰퍼드)는 고

   
▲ SK머티리얼즈

순도 아산화질소(N2O), 불소(F2), 염화수소(HCl), 희귀가스 등 다양한 특수가스를 소개했다.

원익머트리얼즈(대표 이문용)도 기존의 고순도 암모니아(NH3), 아산화질소(N2O), 일산화질소(NO), 삼염화붕소(BCl3) 혼합가스, 포스핀(PF3) 혼합가스, 엑시머레이저가스 등 특수가스 외에 전구체(Precursor)도 선보였다.

국내 최대의 특수가스메이커인 SK머티리얼

   
▲ 버슘머트리얼즈코리아

즈(대표 장용호)도 삼불화질소(NF3), 육불화텅스텐(WF6), 모노실란(SiH4), 다이실란(SiH6), 다이클로로실란(SiH2Cl2) 등의 특수가스를 소개하고 자회사인 SK에어가스 및 SK쇼와덴코(식각가스인 CH3F 제조)와 합작회사인 SK트리켐(반도체용 전구체 제조)도 홍보했다.

이와 함께 버슘머트리얼즈코리아(대표 유재운)도 NF3, WF6, 육불화부타디엔

   
▲ 인테그리스

(C4F6) 등 기존 특수가스제품과 함께 웨이퍼 가공공정에 안전하게 공급할 수 있는 장비들을 소개했다.

초소형 전자산업용 특수가스, 화학물질 등 첨단소재 처리솔루션을 제공하는 인테그리스(대표 홍완철)는 최근 반도체 및 LED응용분야의 웨이퍼 수율을 대폭 개선해 주는 가스정제시스템(GPS)인 게이트키퍼(Gate Keeper)를 전면에 내세워 홍보했다.

   
▲ 로타렉스 루스테크

이와 함께 고압가스용 밸브 및 레귤레이터를 공급하고 있는 로타렉스 루스테크(대표 진경진)은 초고순도 밸브, 의료용가스 밸브, 고압용기용 밸브, 레귤레이터, 피팅 및 커넥터, 소화설비용 밸브, LPG탱크용 밸브 및 레귤레이터 등 매우 다양한 가스관련 부속품을 전시했다.

레귤레이터 국산화에 앞장서 국내는 물론 해외에 수출해 더욱 잘 알려진 드라스타(대

   
▲ 드라스타

표 윤승찬)도 각종 레귤레이터를 시리즈별로 선보이며 관람객의 관심을 모았다.

이 회사는 가스용기 및 정밀산업에 많이 사용하는 072시리즈부터 초고순도 반도체 제조용 가스캐비닛, 특수가스배관, 밸브 매니폴드 등에 사용하는 DRA200시리즈까지 매우 다양한 시리즈의 레귤레이터를 선보여 관람객들로부터 호응을 얻었다.

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