원익M, SKM, 버슘M 등
다양한 특수가스 선보여

로타렉스, 드라스타 등도
레귤레이터·밸브류 전시

[가스신문=한상열 기자] 국내 최대의 반도체 전문전시회인 ‘세미콘코리아2018’이 1월 31일 서울 코엑스에서 개막된 가운데 반도체제조공정용 특수가스를 공급하는 메이커들이 대거 참여해 자사의 다양한 가스제품을 홍보해 눈길을 끌었다.

2월 2일까지 사흘간 열리는 이번 전시회에는 린데코리아, SK머티리얼즈, 원익머트리얼즈, 버슘머트리얼즈코리아, 인테그리스 등 반도체용 특수가스 전문메이커는 물론 로타렉스 루스테크, 드라스타 등 고압가스용 밸브 및 레귤레이터공급업체도 신제품을 전시해 관람객들로부터 호평을 받았다.

국내 굴지의 산업용가스 및 특수가스공급업체인 린데코리아(대표 스티븐 셰퍼드)는 고

순도 아산화질소(N₂O), 불소(F₂), 염화수소(HCl), 희귀가스 등 다양한 특수가스를 소개했다.

원익머트리얼즈(대표 이문용)도 기존의 고순도 암모니아(NH3), 아산화질소(N₂O), 일산화질소(NO), 삼염화붕소(BCl₃) 혼합가스, 포스핀(PF₃) 혼합가스, 엑시머레이저가스 등 특수가스 외에 전구체(Precursor)도 선보였다.

국내 최대의 특수가스메이커인 SK머티리얼

즈(대표 장용호)도 삼불화질소(NF₃), 육불화텅스텐(WF₆), 모노실란(SiH₄), 다이실란(SiH₆), 다이클로로실란(SiH₂Cl₂) 등의 특수가스를 소개하고 자회사인 SK에어가스 및 SK쇼와덴코(식각가스인 CH₃F 제조)와 합작회사인 SK트리켐(반도체용 전구체 제조)도 홍보했다.

이와 함께 버슘머트리얼즈코리아(대표 유재운)도 NF₃, WF₆, 육불화부타디엔

(C₄F₆) 등 기존 특수가스제품과 함께 웨이퍼 가공공정에 안전하게 공급할 수 있는 장비들을 소개했다.

초소형 전자산업용 특수가스, 화학물질 등 첨단소재 처리솔루션을 제공하는 인테그리스(대표 홍완철)는 최근 반도체 및 LED응용분야의 웨이퍼 수율을 대폭 개선해 주는 가스정제시스템(GPS)인 게이트키퍼(Gate Keeper)를 전면에 내세워 홍보했다.

이와 함께 고압가스용 밸브 및 레귤레이터를 공급하고 있는 로타렉스 루스테크(대표 진경진)은 초고순도 밸브, 의료용가스 밸브, 고압용기용 밸브, 레귤레이터, 피팅 및 커넥터, 소화설비용 밸브, LPG탱크용 밸브 및 레귤레이터 등 매우 다양한 가스관련 부속품을 전시했다.

레귤레이터 국산화에 앞장서 국내는 물론 해외에 수출해 더욱 잘 알려진 드라스타(대

표 윤승찬)도 각종 레귤레이터를 시리즈별로 선보이며 관람객의 관심을 모았다.

이 회사는 가스용기 및 정밀산업에 많이 사용하는 072시리즈부터 초고순도 반도체 제조용 가스캐비닛, 특수가스배관, 밸브 매니폴드 등에 사용하는 DRA200시리즈까지 매우 다양한 시리즈의 레귤레이터를 선보여 관람객들로부터 호응을 얻었다.