Q_폐사는 반도체를 제조하는 업체입니다.
특정고압가스중에 포스핀(PH3 50ppm + H2 Balance)실린더를
가스캐비닛(검사품)내부에서 완성검사후 사용하고 있는데
포스핀의 농도를 25ppm으로 낮춰서 쓰고자 한다면
가스캐비닛의 재검이 필요하지 여부를 알고 싶습니다.

또한 인허가를 재진행해야 하는지도 알고 싶습니다.
감사합니다. 좋은 하루 보내십시오.

A_ㅇ 충전할 고압가스 종류의 변경이 있는 경우에
「고압가스 안전관리법」(이하 고법) 제17조제2항제4호에 따라
검사를 받은 실린더 캐비닛에 대하여는 재검사를 받도록 규정하고 있습니다.

ㅇ 따라서, 질의한 바와 같이 실린더 캐비닛에 저장하는 가스를
포스핀(50ppm)+수소(Balance) 혼합가스에서 포스핀(25ppm)+수소(Balance)로 변경할 경우에는
고압가스 종류의 변경으로 보아 이 실린더 캐비닛을 사용하기 위해서는
변경된 혼합가스로 재검사를 받아 사용하여야 할 것으로 사료됩니다.

ㅇ 질의하신 내용에서는 가스의 농도 외 변경사항에 대한 확인이 어렵습니다.
특정고압가스 사용시설은 아래의 사항에 해당하는 경우 완성검사를 실시하고 있으니,
해당 여부에 대하여 확인하여 주시기 바랍니다.

1. 저장설비의 교체설치, 위치변경 또는 저장능력 증가
2. 처리설비의 위치변경 또는 처리능력 증가
3. 매몰공정이 수반하는 배관의 변경
4. 배관의 안지름 크기의 변경
5. 배관의 설치장소 변경(변경하려는 부분의 배관의 총 길이가 300미터 이상인 경우)

<자료 :한국가스안전공사 사이버지사 2023년 12월 6일 답변>